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關鍵詞：維修BURKERT氣體質量流量調節器 (Mass Flow
型號 8715 是一臺用于調節侵蝕性氣體質量流量的裝置，它需要一個與介質相分離的傳感器。在數字的電子調節設備中，會將傳感器提供的實際值與規定的額定值進行比較；存在調節偏差時，會通過一種 PI 調節算法對發送到比例閥上的調節參數進行修改。這樣一來，就可以將質量流量保持在一個確定的數值上，或使其遵循規定的曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設備中其他變化的影響。 可針對兩種不同的氣體對型號 8715 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。一個直動式比例閥作為調節元件，確保了高反應靈敏度和裝置良好的調節特性。通過數字方式與更高一*的設備進行通訊，這樣一來，就可以省去額外的 D/A 轉換。
